設備主要技術規格 | |
設備產能 | 120PCS/h(等離子處理60S) |
激勵電源 | 雙微波電源2000W |
真空泵 | 銳升干泵 SDA50 |
真空管道 | 304不銹鋼,高強度真空管路 |
真空腔體材質 | 鋁合金 |
真空腔體體積 | 約24L |
清洗產品范圍 | 80~280mm×25~90mm(長×寬)平面變形量<2 |
料盒尺寸范圍 | 180~290mm×28~93mm×200mm(長×寬×高) |
流道數量 | 同步四流道設計,左進右出。 |
軌道調節方式 | 手輪調節 |
工藝氣體 | 標配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制) |
工藝氣體流量 | 0-300SCCM |
冷水機 | 朕大IC3650 |