OPF-H-C系列高性能氣浮隔振光學平臺是我司結合多年在隔振領域的研發及應用經驗，引進國際的隔振技術而開發出的一款高性能科研級隔振平臺。該隔振平臺的氣浮隔振腿內部采用了零摩擦三線擺結構設計，可以更大程度的隔離水平方向上的振動。在隔振器設計中還引入了大柔性體積的混合腔室設計和層流阻尼技術，大大降低了固有頻率和提高了阻尼效率。

整體分為臺面、圓柱形獨立氣浮隔振器、氣泵三部分。臺面內部采用桁架式六角蜂窩結構設計，垂直粘接的三芯蜂窩，每個蜂窩單元都使用三重芯板接觸面，確保了的剛度和的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積，極大提高了平臺整體的粘接強度和性能，蜂窩芯密度：≥260kg/m³。每個螺紋孔下面都有一個高強度耐腐蝕的隔離杯（孔深~20mm），便于用戶取回小零件或樣品，同時也起到防水防塵等作用。上臺面材料選用1Cr17高導磁不銹鋼，表面亞光密迪紋理處理，具有很好的耐腐蝕性能。

主要應用于超高分辨光學成像、超快實驗、激光干涉實驗、量子光學、精密光學測量等對振動有非常高要求的精密實驗。

的技術設計（示意圖）：

固有頻率測試結果（上圖為垂直方向，下圖為水平方向）：

隔振效率：

技術參數：

l 水平方式：自動充氣，自動平衡

l 固有頻率：1～1.7Hz（垂直），1～1.4Hz（水平）

l 隔振效率：垂直隔振87%-94%@5Hz，92%-97%@10Hz；水平隔振80%-90%@5Hz，92%-98%@10Hz

l 重復定位精度：±0.10mm

l 自平衡氣浮隔振腿：內部采用的三線擺設計，大柔性體積的混合腔室結構，層流阻尼技術。獨立大圓柱腿，高性能復合材料氣囊

l 臺面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l 臺面平面度：≤±0.1mm/m²

l 臺面粗糙度：0.6~1.5μm

l 臺面孔間距：25mm（機械打孔），孔徑：M6螺紋孔，孔邊距：37.5mm

l 總高度：800mm，可調范圍：±10mm

l 無油氣泵，噪音<50db

選型表：

部分客戶案例：

浙江大學（規格：3000*1500*800mm）

西湖大學