微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
- 介質要求潔凈干燥氣體
- 氣體種類98+氣體可選
- 量程0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm - 測量范圍0.5%F.S.(1:200)
- 控制范圍1%-1 00% FS.(1:100)
- 準確度±1% F.S.
- 重復精度±0.2%F.S.
- 線性度±0.2%F.S.
- 控制響應時間<3 秒
- 預熱時間5 min(T95),30 分鐘
- 閥門常閉式