旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/勻膠機(jī)/旋轉(zhuǎn)涂儀 型號:ZRX-26230

旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)勻膠機(jī)
主要用于液體，膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷，不銹鋼，金屬等制版表面涂覆工藝。

ZRX-26230勻膠機(jī) 工作主機(jī)獨(dú)立，控制器分置。
ZRX-26230勻膠機(jī)： 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。


*旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)勻膠機(jī)程序控制器：
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程；
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；
加速度（及負(fù)加速度），可設(shè)置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序，方便快速調(diào)試并存儲程序。
設(shè)置程序：標(biāo)準(zhǔn)通用符號，6鍵操作，人機(jī)交互式對話，提示操作。
無需培訓(xùn)，上手就會操作。
*可連接滴膠機(jī)，自動控制在必要的瞬間滴膠，自動控制重復(fù)定量滴膠。
自動控制操作。
*工作腔可氮?dú)獗Ｗo(hù)。
設(shè)過有效的惰性氣體保護(hù)機(jī)構(gòu)，對所有的環(huán)境變量（溫度，濕度，潔凈度）有效控制，

*真空吸片，爪卡機(jī)構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機(jī)構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構(gòu)定位：圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷，定位精度高。
主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤即可滿足（TA-280適用3英寸-11英寸基片）；（TA-360適用3英寸-14英寸基片）。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤，吸盤品種豐富，適應(yīng)各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度，必須在安全的真空度下，
電機(jī)啟動，運(yùn)行。保障可靠吸片，不飛片。運(yùn)行中失去真空，系統(tǒng)保護(hù)性停機(jī)。
*伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速精度更高：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 % 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*所用的天然聚丙烯（NPP）材質(zhì)，清潔。



單相交流電源：220V.50Hz
電機(jī)功率：200W
轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時間：1---9999秒。尺寸： 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,