主要特點：
- 集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺，可在 Essence™ 軟件的同一個窗口中實現掃描電鏡實時成像和成分分析。
- TESCAN 的無機械光闌光路設計及實時電子束追蹤技術 (In-flight Beam Tracing™)，可快速獲得的成像和分析條件。
- 的大視野光路（Wide Field Optics™）設計，可實現最小放大倍率低至2倍，因而無需額外的光學導航相機，即可輕松、精確的對樣品進行導航。
- 直觀、模塊化的 Essence™ 軟件設計，不同經驗等級的用戶均可輕松操作。
- Essence™ 3D 防碰撞模型，可確保樣品臺和樣品移動時，安裝在樣品室內探測器的安全性。
- 可選配的真空緩沖節能單元可顯著縮短機械泵的運行時間，提供一款環保、高經濟效益的電子顯微鏡。
全新的 TESCAN Essence™ 軟件
TESCAN VEGA COMPACT 采用 TESCAN Essence™ 多用戶電鏡操作軟件，具有快速搜索、操作步驟撤銷/重做和預設參數等多種快速功能，實現更高效的樣品分析工具。軟件允許和表征。用戶可以根據實際操作水平或特殊應用需求的不同在軟件中自定義界面布局，也可以在軟件上設定自己的專屬界面，只顯示滿足自身應用需求的功能和圖標。這種簡化后的布局方式可以更好的幫助接觸電鏡不久的操作人員輕松掌握掃描電鏡成像和能譜分析。
樣品臺
5軸計算機控制優中心馬達驅動樣品臺
X 及 Y 軸移動行程: 80 (X) x 60 (Y) mm
Z 軸移動行程: 50 mm
傾斜: 計算機控制優中心式, -80° 至 +80°
旋轉: 計算機控制優中心式, 360 ° (連續)
樣品高度：81 mm
樣品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm
樣品重量: 1000 g
軟件：
- 測量軟件, 公差測量軟件
- 圖像處理
- 預設參數
- 直方圖及LUT
- SharkSEM™ 基礎版 (遠程控制)
- 3D 防碰撞模型軟件
- 對象區域
- 光電聯用
- 定時關機
- CORAL™（用于生命科學的電鏡模塊）
- 自動拼圖軟件
- 樣品觀察
- TESCAN Flow™ (離線處理軟件)
根據實際配置和需求
設備參數：
| 電子槍 | 加熱鎢燈絲陰極 |
| 電子光學部件 | 中間透鏡大視野觀察（Wide Field OpticsTM Technology with Intermediate LensTM ）和實時電子束追蹤（In-Flight Beam TracingTM ） |
| 分辨率 | 高真空模式：3 nm@30 keV；8 nm@3 keV |
| 視野 | 位于工作距離時＞50 mm |
| 艙室 | LM |
| 標配 | EssenceTM軟件、SE探測器；4Q BSE探測器；IR 攝像頭 |
| 選配 | SharkSEM軟件，可用于與第三方EDS信號連通；EssenceTM EDS；Vacuum Buffer；（倉室上只有6個法蘭口， 除SE, 4Q BSE, EDS, CCD，pA meter incl. touch alarm function外，其他探測器均不可選） |
| 五軸樣品臺 | X 及 Y 軸移動行程: 80 (X) x 60 (Y) mm Z 軸移動行程: 50 mm 傾斜: 計算機控制優中心式, -80° 至 +80° 旋轉: 計算機控制優中心式, 360 ° (連續) 樣品高度：81 mm 樣品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm 樣品重量: 1000 g |
