特點 | 優點 |
微型體積設計 | 能安放在制程工具或緊湊空間內 |
自我平衡技術 | 無需調校也能保持離子平衡 |
電源顯示LED | 顯示電源輸入正常 |
保養簡單 | 只需定期清掃靜電針尖 |
■ 產品規格
產品型號 | HZR MINI-A/N |
輸入電壓 | DC12V |
工作電流 | 30 mA (隔離的) |
電離技術 | 脈沖直流電離 |
離子平衡 | MINI-N :< ± 30 V@ (7.6 cm 距離); |
MINI-A :< ± 20 V: | |
@ (15.2 cm 距離,0.02 m /min風量) | |
耗散時間 | MINI-N:< 10 秒 @ (7.6 cm 距離) |
MINI-A:< 8 秒 | |
@ (15.2 cm 距離,0.02 m /min風量) | |
輸入氣源 | CDA潔凈空氣, |
風量輸出 | MINI-A:0.01-0.03 m /min @ 0.3-2.1 bar 輸入氣壓 |
覆蓋范圍 | MINI-N 15*15cm@7.6cm距離 MINI-A 15*15cm@15cm距離 |
環境氣流 | 1.0m/s (建議最小) |
臭氧產生 | < 0.05 ppm |
EMI | 低于背景水平,建議最短使用距離5cm |
符合潔凈度 | ISO 14644-1 Class 5 |
放電針材質 | 不銹鋼 |
機殼 | ABS |
操作環境 | 溫度0-40°C ;30-70% RH (無冷凝) |
尺寸 | 5.2 x 4.1 x 1.65 cm,上下有 6 mm 邊框 |
MINI-A 有 1 cm 長的氣管接口 | |
重量 | MINI-N:0.016 kg |
MINI-A:0.019 kg |
■ 測試方法
測試偏置電壓和消散時間兩個性能參數。
出廠測試方法:
1 儀器設備名稱:本公司采用ME-288B充電平板測試儀 (CPM)。
2 測試儀器需接地良好,所測離子風機需接地良好。
3 靜電消除器對準平板測試儀中心,按照以下距離測試:
? MINI-N:76 mm距離
? MINI-A:152 mm距離
現場測試方法:
1. 現場測試時,儀器的測試平板需放置在ESD敏感元器件實際被操作的位置。
2.具體測試方法,以不同測試儀器說明書為準。