MPI TS2000是世界范圍內成熟的探針系統的自然演變,其專用設計滿足半導體測試市場的要求。該系統與所有MPI系統附件兼容,主要用于解決故障分析,設計驗證,IC工程,晶圓級可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件測試的特殊要求。
TS2000可用于環境溫度和/或僅熱溫度操作模式,速度快達10 Dies /秒(取決于最終配置),這使其成為離散RF設備上預生產電氣測試的理想選擇,例如。
適用于多種量產型晶圓量測應用
? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 射頻量測 - 至高 67 GHz & 4 埠
? 高功率量產測試 - 至高 10 kV / 600 A
? 集成電路設計驗證 - 室溫至 300 °C
量產可靠性
? 專為 24/7 穩定可靠的量產測試而設計
? 內建被動式防震桌
? 可另選配避震基座
? 適用于室溫至 300 °C 量測
工效學設計及彈性選配
? 簡易便利的前門單晶圓上片設計
? 大面積工作臺設計,可乘載至多 12x DC 或 4x
DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具
? 另有多種晶圓載物臺、4.5“ 探針卡夾具可做選
擇,亦有諸多配件如 DC/RF 微定位器、光學顯
微鏡等可搭載,以支援您的應用需求