一、武漢4英寸探針臺出售核心功能

測試能力：可執行IV/CV測試、RF測試、光電測試等，適用于晶圓、芯片、LED、場效應晶體管、IGBT、分立器件等樣品的電學性能評估。

溫度控制：測試溫度范圍覆蓋室溫至300℃，支持高溫和低溫環境下的晶圓溫度特性測試，滿足惡劣工況下的材料與器件研究需求。

定位精度：通過高精密導軌實現2μm移動精度，樣品臺可360度旋轉并支持±10度微調，確保探針與樣品接觸的精準度。

真空與氣氛控制：可選配真空護罩防止露水凝結，或通過惰性氣體/還原性氣體環境控制，適配不同測試場景對氧化防護的需求。

二、武漢4英寸探針臺出售技術參數

樣品臺：

尺寸：適配4英寸晶圓，材質可選不銹鋼、鋁合金、黃銅鍍金或絕緣材料。

固定方式：真空吸附，支持三個獨立開關控制。

移動范圍：XY軸行程105mm×105mm，Z軸升降10mm。

旋轉與接地：360度旋轉，±10度微調；樣品臺對地絕緣，可做背電極使用，也可選接地配置。

顯微系統：

類型：單筒顯微鏡、體視顯微鏡或單筒金相顯微鏡，倍率范圍18X-220X（搭配11.6寸顯示器）。

調焦范圍：50.8mm，支持360度旋轉與顯示器支架集成。

成像系統：配備2K或4K相機，幀率60fps，支持拍照、錄像及測量功能。

探針系統：

探針座：X-Y-Z行程12mm×12mm×12mm，移動精度0.5μm-5μm，材質為含磁不銹鋼并表面電鍍防銹。

探針夾具：兼容同軸線纜、三軸線纜，漏電精度達100fA（三軸夾具）或10pA（同軸夾具）。

探針接口：支持三軸接頭、同軸接頭、香蕉頭、鱷魚夾、裸線接口、SMA及射頻接頭等。

探針規格：材質為鎢鋼或鈹銅，針尖半徑覆蓋0.2μm至100μm，適配不同測試需求。

三、選型要點

測試類型與精度：

根據測試需求選擇顯微鏡倍率（如光電測試需高倍率金相顯微鏡）及探針移動精度（高頻測試需0.5μm級精度）。

確認探針夾具與接口類型是否匹配測試儀器（如射頻測試需SMA或射頻接頭）。

環境控制需求：

高溫測試需關注樣品臺材質耐溫性及加熱均勻性；真空測試需確認極限真空度（如10?? torr）及漏率。

氣氛控制需支持惰性氣體或還原性氣體切換，并具備流量控制精度（如±0.1sccm）。

擴展性與兼容性：

優先選擇模塊化設計設備，支持探針座、顯微鏡、屏蔽箱等升級，適配未來測試需求。

確認設備是否兼容源表、半導體參數分析儀、網絡分析儀等常用儀器。

操作與維護：

評估設備自動化程度（如自動掃描、首點對準功能）對測試效率的影響。

關注設備維護成本，如真空泵壽命、探針更換周期及廠家技術支持能力。