浙江高精度氣體流量控制器
流量傳感器采用氣體流過(guò)外熱源加熱的毛細(xì)管時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化 來(lái)測(cè)量氣體質(zhì)量流量,通過(guò)電橋?qū)囟葓?chǎng)的變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)并經(jīng)過(guò)電 路放大、濾波處理,處理后的信號(hào)采集進(jìn)處理器芯片,再通過(guò)氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補(bǔ)償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實(shí)氣體流量值。氣體實(shí)際流量值與流量 設(shè)定值進(jìn)行比較, 將差值通過(guò)智能算法去控制調(diào)節(jié)閥門(mén),閉環(huán)控制流過(guò) 通道的流量使之與流量設(shè)定值相等,實(shí)現(xiàn)氣體流量的精準(zhǔn)控制
MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測(cè)氣體進(jìn)入后,先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng),MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。