成都松盛測控技術(shù)有限公司的氣體質(zhì)量流量控制器，適用于控制多種不同氣體的質(zhì)量流量。其中包含一些特殊氣體，比如：氘氣、氚氣、臭氧等。今天就跟大家聊聊臭氧氣體質(zhì)量流量控制器，這是一款基于質(zhì)量流量控制技術(shù)設(shè)計(jì)的專用設(shè)備，其核心功能是精確調(diào)控臭氧（O?）的質(zhì)量流量。由于臭氧具有強(qiáng)氧化性和腐蝕性，因此流量控制器需在常規(guī)氣體質(zhì)量流量控制器基礎(chǔ)上進(jìn)行特殊設(shè)計(jì)。

臭氧氣體質(zhì)量流量控制器的量程范圍廣泛：從5sccm——3000slm均可標(biāo)定定制，需覆蓋實(shí)際應(yīng)用需求（如實(shí)驗(yàn)室常用0~10 SLPM，工業(yè)場景可達(dá)0~500 SLPM）。本公司產(chǎn)品的耐壓等級非常高，常規(guī)是3Mpa可選10Mpa，但是實(shí)際使用的時(shí)候臭氧系統(tǒng)壓力通常高于常規(guī)氣體即可。

臭氧氣體質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體制造、水處理等工藝中，控制臭氧氣體參與反應(yīng)的流量，例如ALD（原子層沉積）工藝中的氧氣流量控制。