日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s
標(biāo)配RS485，MODBUS-RTU協(xié)議 (以太網(wǎng)RJ-45網(wǎng)線接口2個，最多串聯(lián)99臺)，適用于高真空
設(shè)備、半導(dǎo)體行業(yè)、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。
產(chǎn)品特色：
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)
通用的常閉型閥門
無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s
采用膈膜閥減少了死區(qū)
間距，主體尺寸和連接的設(shè)計可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容00mA
技術(shù)參數(shù)：
流量FS(N2換算)：10SCCM-10SLM
氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)，高純氣體
傳感器類型：新型熱式傳感器
閥門類型：電磁比例閥，常閉
控制范圍：2%-99%
控制速度：2%-99%,1秒以內(nèi)
控制精度：±1.0%FS以內(nèi)
線性： ±0.5%FS以內(nèi)
重復(fù)性： ±0.2%FS以內(nèi)
工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa
5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa
低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來定制
高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來定制
產(chǎn)品耐壓：980Kpa
泄漏率：為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)
使用溫度：0-50℃
允許濕度：10-90%
產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316L
密封圈：SUS316L
管路接頭：1/4英寸VCR
電氣接頭：D型9針
輸入信號：0-5V(模擬信號)
輸出信號：0-5V(模擬信號)
數(shù)字接口：RS485，MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個，最多串聯(lián)99臺)
供應(yīng)電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
產(chǎn)品重量：1100g
