質量流量計用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。他們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、色相譜儀及其它分析儀器。
D07系列質量流量控制器和質量流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點，其操作使用方面，可任意位置安裝，并便于與計算機連接實現自動控制。
D07系列質量流量控制器和質量流量計一般與D08系列流量顯示儀等產片配套使用，控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。項目/型號
D07-11B
D07-11BM
流量規格
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10）SLM準確度
±1%F.S
±1.5%F.S
線性
±（0.5~1）%F.S
±（0.5~1.5）%F.S
重復精度
±0.2%F.S
±0.2%F.S
響應時間
電特性：10sce
氣特性：（1~4）sce10sce
工作壓差范圍
（0.2~0.8）MPa
氣壓降＜0.01MPa
耐壓
10MPa
10MPa
工作環境溫度
5℃~45℃
5℃~45℃
輸入輸出信號
0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）0V~+5.00V
（輸入阻抗大于100K，輸出電流大于3mA）電源
+15V 50mA
-15V 200mA+15V 50mA
-15V 50mA重量
1.1Kg
0.92Kg
