100噸連續真空熱壓燒結爐
KZTY-50-16
一、產品簡介
本設備主要用于半導體帶材的連續釬焊熱處理燒結使用。
二、產品特點
1、結構新穎、外形美觀:本設備爐體采用全不銹鋼啞光處理,一體化設計,結構合理,外形美觀。設備水電集成化,可直接和用戶準備好電源進線和冷卻水即插即用。
2、采用立式正面側部開門,操作簡單方便。
3、抽真空機組一體化設計外形簡潔美觀。
4、用途廣泛,即可在真空下燒結處理,也可在真空氣氛下燒結處理,還可以熱壓燒結或熱壓氣氛燒結,一機多用。
三、功能參數:
1、 電源:三相380V 50Hz;
2、 加熱功率:≤50Kw根據實際設計調整
3、 設備真空度能力:腔室采用304材質雙層水冷高真空設計,腔室自身極限真空可達10-3pa以下(真空系統客戶自備) ,高真空設計預留進出真空接管法蘭
4、 加熱方式:石墨加熱
5、 設計溫度:1600℃,工作溫度:≤1500℃
6、 工作區尺寸:300mm×300mm*100mm(長寬高)
7、 加壓臺面:200mm*200mm 腔體內部壓力件采用等靜壓石墨材料
8、 工作區:一區
9、 控溫方式:熱電偶
10、 控溫精度:±1℃
11、 設備設計保溫隔熱屏,在隔熱區外,是水冷真空腔室,設置有水冷循環系統;
12、 能夠壓合寬100mm*厚5mm成卷連續銅帶材;
13、 工作氣氛:N2/Ar
14、 充氣壓力:≤0.03MPa
15、 壓機壓力:≤100T采用下頂式加壓,設備作業時,***壓力控制和壓合行程控制兩種控制方式可選
16、 壓頭行程:50-100mm
17、 設備內部加熱元件有短路保護功能,配置快速熔斷器等保護器件,可實現負載短路迅速切斷主加熱電源。
18、 液壓加壓系統設計過壓過載保護,并在觸摸屏顯示并記錄保存