| 技術參數及特性 1. 反應室工作壓強：幾百帕～十千帕 2. 反應室極限壓強: 6×10－1帕 3. 反應室尺寸： Φ50mm 4. 微波功率： 0～500W 5. 基片溫控： 200～1000℃ 設備安裝 1. 安裝環境要求 1) 供電： AC220V，50Hz,zui大功率2000W 2) 溫度、濕度、氣源及冷卻水：應保障設備工作穩定正常 3) 安裝室：室內整潔，空氣流通，無塵埃。 4) 接地線：室內具有獨立接地線＜3Ω 2. 安裝程序 1） 確認安裝環境 2） 檢查設備良好情況（運輸過程中是否造成損壞） 3） 安裝真空泵、抽氣管道、隔斷閥及其它配件 4） 連接電氣柜至主機各電纜線 5） 確認各電氣部件完好無損 6） 升降雙層水冷支架，確認石英管、基片臺及其它部件完好無損 7） 連接并啟動確認循環控制冷卻水完好 8） 連接好設備地線。 操作及注意事項 1. 檢查確認設備各部件完好，連接安全（注意接地）。 2. 接通總電源，打開總電源開關按鈕，確認冷卻水箱水容量及MTC-2000水冷控制系統（詳細請參照MTC-2000操作說明書）已設定完成后，打開冷卻水開關按鈕。 3. 打開隔膜閥，確認氣路連接規范完好后打開機械泵開關按鈕，抽真空約5分鐘使本底真空達到所需要求。 4. 開啟流量計開關，給真空室輸送工作氣源。 5. 開啟高壓開關按鈕，將陽極電流加載至約15mA，關閉隔膜閥，調節微調閥使工作氣壓達到所需要求。 6. 調節短路活塞及工作平臺高度使裝置穩定工作。 7. 試驗結束時，將陽極電流調至0，關閉高壓開關按鈕，關閉氣路，關閉機械泵，關閉冷卻水，關閉總電源。 | |
