特點(diǎn):
·儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測(cè)量等特點(diǎn);
·光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高;
·儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件,方便用戶(hù)使用。
主要技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍
薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10;
測(cè)量zui小值:≤1nm
入射光波長(zhǎng):632.8nm
光學(xué)中心高:80mm
允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:±0.5nm和±0.005
主機(jī)重量:25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°