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  • 橢圓偏振測(cè)厚儀

TPY-1型 橢圓偏振測(cè)厚儀

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)TPY-1型
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2018-05-14
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地區(qū)廣東
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量159
  • 人氣值1783
產(chǎn)品標(biāo)簽

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在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加精確和迅速地測(cè)定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)如:布儒斯特角法測(cè)介質(zhì)膜的折射率,干涉法測(cè)膜厚,其它測(cè)膜厚的方法還有稱(chēng)重法、X射線(xiàn)法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),因而,橢圓偏振法測(cè)量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
橢圓偏振測(cè)厚儀 產(chǎn)品詳情

特點(diǎn):
 
·儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測(cè)量等特點(diǎn);
 
·光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高;
 
·儀器配有生成表、查表以及精確計(jì)算等軟件,方便用戶(hù)使用。

主要技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍
薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10;
測(cè)量zui小值:≤1nm
入射光波長(zhǎng):632.8nm
光學(xué)中心高:80mm
允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:±0.5nm和±0.005
主機(jī)重量:25kg
入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°

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