Nikon 已推出由行程 15m m 至 100m m 的高度計 Digimicro ,精度在 0.7 um 至 3um 內,可搭配各式平臺及測針使用,適用與精密模具業、電子半導體業, 模具加工業等。 機型 測量行程 精度 可承受速度 zui小讀取值 擴充性 MF-101 0-100mm 3um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MF-501 0-50mm 1um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC MH-15M 0-15mm 0.7um 500mm/秒 0.01um 可外接印表及PC 平臺 型式 材質 平臺尺寸 MS-11C 陶瓷 110X 110mm MS-21 鑄鐵 150X 150mm MS-31G 花崗石 120X 180mm MS-4G 花崗石 400X 300mm MS-5C 陶瓷 直徑100mm