2、儀器規(guī)格參數(shù)
2.1 工作臺(tái)
2.1.1 金屬臺(tái)尺寸:600×600mm
2.1.2 玻璃臺(tái)尺寸:400×400mm
2.1.3 外形尺寸:770×590×1100mm
2.1.4 運(yùn)動(dòng)行程:300×300mm
2.1.5 儀器重量:200Kg
2.1.6 攝像機(jī):日本SONY CCD
2.1.7 X、Y、Z數(shù)顯解析度:0.001mm
2.1.8 X、Y坐標(biāo)示值誤差:≤(3+L/200)μm