SF6氣體回收凈化裝置裝置性能
| 產品型號 | 真空泵速率（L/s） | 極限真空 （pa） | 抽真空時間（s） | |||||
| 170L | 340L | 680L | 1360L | 2700L | 5400L | |||
| SG2085 | 85 | ≤5*10-2 | 2 | 4 | 12 | 20 | 40 | 80 |
n 外型：90cm×65cm×1200cm（長×寬×高）
n 重量：350Kg 左右
n 工作電壓：380~460V 50Hz交流電
n 噪音水平：<78dB（A）
SF6氣體回收凈化裝置裝置基本配置：
| 編號 | 名稱 | 型號 | 數量 |
| 1 | 前級真空泵二級羅茲泵* | 額定速率85L/S，Z終真空度<0.06pa | 各1 |
| 2 | 管道 | DN30,螺紋不銹鋼波紋管 | 2 |
| 3 | 球閥、電磁閥 | 316 . GU型真空球閥，DDC真空電磁閥 | 4 |
| 4 | 連接槽件 | DN30型，用于連接SF6氣體回充裝置 | 1 |
| 5 | 管道 |
| 2 |
| 6 | 真空隔膜閥 |
|
|
| 7 | 真空表 | 數顯 | 1 |
| 8 | 連接槽件 |
| 1 |
| 9 | 連接插件 |
| 1 |
| 10 | 軟管 | 長度5m，憎水材料組成 | 2 |
| 11 | 連接插件 | 可選配各種類型的電器設備接口 |
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