為了滿足測量微小區域及高精度的需求，安裝了“SFT”**秀的75W高功率X射線管。
快速的對應日益微小化的電子產品，更擴大了X射線熒光鍍層厚度測量儀的應用。

可測量元素：原子序數22（Ti）～83（Bi）

X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（Mo靶）
                  管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗

濾波器：一次濾波器：Mo 二次濾波器：Co （自動切換）

照射方式：上方垂直照射方式

檢測器：比例計數管

準直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm 
                 圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：樣品室門自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動診斷功能

樣品圖像對焦方式：激光自動對焦

樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學器 鹵素燈照明

樣品平臺大小及承重： SFT9300:240mm（W） ×170mm（D） 10kg 
                                              SFT9350:420mm（W） ×330mm（D） 5kg 
                                              SFT9355:700mm（W） ×600mm（D） 3kg

重量：SFT9300/SFT9350:125kg （不含電腦） 
             SFT9355:130kg（不含電腦）

修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正

測量報告書制作：配備MS-EXCEL® MS-WORD®（使用宏支持自動制作測量報告書） 
                                  測量能譜與樣品圖像保存功能

1. 75W高功率X射線管
　能夠提高X射線的生產效率，實現高精度的測量，有效縮短測量時間，只需過去的1/4
2. 超微小型準直器
　除了搭載了標準配置的50μm準直器，還配備了測量微小部位用的15μm準直器
　對應所選擇準直器的實際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫面上
3. 倍率式光學系
     可以準確地對微小部分進行對焦，還可以對應各測量點間有高低的樣品
4. 實現了高精度自動X-Y-Z樣品臺與圖像處理軟件的高速自動測量
5. 擁有防沖功能
6. 搭載高精度樣品平臺，更可測量大型線路板（SFT9355）
7. 自動對焦功能
    配備激光自動對焦功能，能夠準確對焦，提高測量效率。
8. 即時生成測量報告的便捷性
    運用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡單輕松得到制作報告。
9. 搭載了高功率X射線管
10. 擁有自動測量軟件以及中心搜索軟件
11. 搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件 1.可實現高精度幾高效率的微小樣品檢測zui小樣品尺寸直徑3.5um
2.容易決定微小測量部位
3.影像對焦系統
4.凹凸樣品的凹下部位的測量
5.再現性佳