氣浮式大行程影像測量儀VMS型
氣浮式大行程影像測量儀儀器介紹:采用龍門式結構(橋架式),結構穩定不變形,主要運用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕緣材料等。
氣浮式大行程影像測量儀儀器特點:該系列氣浮式大行程影像測量儀采用龍門式結構(橋架式)運行性能穩定,且機構穩定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機、全采用雙重閉環運動控制、可保證電機在中、高速動動時的穩定性,和準確的定位功能,影像Z軸可自動對焦、配合美國Navitar自動變焦鏡頭,可實現自動變焦而不需倍率校正。
氣浮式大行程影像測量儀型號及規格參數
影像測量儀系列型號 | VMS5030(氣浮型) | VMS6040(氣浮型) | |||||||||
工作臺 | 金屬臺面尺寸(mm) | 760×640 | 730×530 | ||||||||
玻璃臺面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | |||||||||
運動行程(mm) | 500×300 | 600×400 | |||||||||
Z軸升降行程 | 200mm | ||||||||||
工作距離 | 92mm | ||||||||||
X、Y、Z數顯解析度 | 1μm | ||||||||||
X、Y坐標示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | ||||||||||
影像系統 |
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測量系統 | Mclns全自動測量軟件 |
宏康氣浮式大行程影像測量儀