韓國*高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器,使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應用于半導體工業和其他行業,產品設計堅固、耐用,且經濟。
:李冬靜/,“http://www.linetech-cn.com
應用:
LINE TECH氣體質量流量流量計和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
優勢:
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(90公斤)
l 快速響應時間(<1秒)
l 高重復性(±0.25%F.S)
規格:
型號 | M3500A |
流量范圍(N2) | 300~500 slpm |
響應時間 | <2秒 |
精確度 | ±1% |
重復精度 | ±0.25% |
輸入輸出信號 | 4~20mA |
供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
zui大工作壓力 | < 90 bar |
zui大工作溫度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范圍 | 2~ |