手持式四探針測試儀 四探針測試儀 型號:DP-RTS-3
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 | 測量范圍寬、精度、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式; |  | 體積僅為:185mm(長)*90mm(寬)*30mm(); 重量:350g; |  | 使用鋰電池供電,次充電可連續(xù)使用100小時; | |
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DP-RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 儀器采用了電子行、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點。如有需要可加配測試臺使用。 本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 |
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技 術(shù) 指 標(biāo) : |
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測量范圍 | 電阻率:0.01~1999.9Ω.cm; 方塊電阻:0.1~19999Ω/□; | 恒流源 | 電流量程分為100μA、1mA兩檔,兩檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%; 顯示:以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;性、量程自動顯示; | 四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87行) | 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測量Z大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% | 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% | 外型尺寸 | 185mm(長)*90mm(寬)*30mm() | 重量 | 350g | 電源 | 鋰電池,次充電可連續(xù)使用100小時; | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無頻干擾; 無強(qiáng)光直射 | |
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