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  • 高分辨率濺射儀

K575X 高分辨率濺射儀

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  • 型號K575X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2017-10-28
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)江蘇
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量14
  • 人氣值265
產(chǎn)品標簽

濺射儀

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K575X使用“渦輪”泵,前級為旋片式機械泵,整個抽真空過程為自動控制。 〈br〉
真空度可調(diào)整,以適應(yīng)鉻或其它易氧化金屬,以及金靶等不同材料要求,定時器可設(shè)置成不同的濺射時間。
高分辨率濺射儀 產(chǎn)品詳情
EMITECH K575X 高分辨率濺射儀  ——Peltier制冷型  本系統(tǒng)裝配了磁控管靶,靶面直徑為54 mm,可快速更換靶材。  濺射頭用Peltier制冷,可得到高性能、精細顆粒的涂層(無需水冷卻)。  濺射時參數(shù)可預(yù)設(shè),包括氣體放氣電磁閥。  K575d(雙頭)其它與K575X相同,只是具有兩個濺射頭。在進行特殊涂層的應(yīng)用時,不需要打開真空即可進行兩層沉積濺鍍。  注:K575d技術(shù)規(guī)格與K575X相同,但它具有兩頭。K575X具有peltier制冷,對于比較厚的沉積,通常用K575d(雙頭)單元,它需要用水冷卻。  儀器特點   ● 全自動控制  ● Peltier冷卻濺射頭  ● 精細鍍層(0.5nm Cr粒子)  ● 可傾斜的特殊旋轉(zhuǎn)臺作為標準配置  ● 薄膜沉積(典型為5nm)  ● 直徑為165mm腔室  ● 可選雙濺射頭  ● 可接膜厚測控儀  儀器優(yōu)點   ● 可濺射易氧化金屬精細顆粒,如:鉻或銥  ● 易操作  ● 無需水冷卻  ● 超高分辨率,可復(fù)制涂層  ● 適應(yīng)各種樣品  ● 重復(fù)膜厚沉積  ● 樣品容易裝載和卸載  ● 不需要打開真空即可進行順序涂層  ● 沉積厚度可預(yù)設(shè)  技術(shù)規(guī)格  儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H  工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H  安全鐘罩:聚碳酸酯  基座: 110 mm直徑x 115mm高  重量:42公斤  靶:54 mm 直徑 x 0.2mm 厚(鉻作為標準靶材)  樣品臺:60mm直徑,具有傾斜功能的旋轉(zhuǎn)臺  真空范圍:ATM-1x10-5 mbar  操作真空:1 x 10-3 mbar到 1 x 10-4 mbar  濺射電流:0-150mA  沉積速率:0-20nm/分  濺射定時:0-4 分鐘  渦輪分子泵:60 litres/Second (極限真空 1x10-8 mbar)  Services - Argon - Nominal 10 psi;             Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas)  真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr  電源:230 伏 50Hz(包括泵zui大電流為6安培)        115 伏 60Hz(包括泵zui大電流為12安培) 
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