關于高壓氣體擴散器的技術說明--深圳億天凈化 全國一級代理 : 呂

技術交流>>新版 CGMP 規定 如何量測高壓氣體（如氮氣, 壓縮空氣, 惰性氣體）的潔凈度CGMP   MetOne Particle Counter  for PAr, CDA, GN2, PN2  , Pipe  TEST

另外 無論您之前用誰的品牌（進口的 或 國產的）的塵埃粒子計數器, 都可以接上我們MetOne的 高壓氣體減壓閥 去測試你們家的高壓氣體（如氮氣, 壓縮空氣, 惰性氣體）的潔凈度

當然用我們的品牌會更*.

MetOne3413 or 2400  for 0.3 or 0.5 um 安裝方式簡單

上游供氣段（GAS:PAr, CDA, GN2, PN2  , Pipe  >  3423 we can do it.） + Diffuser （約USD3500.-） + CDA Purge

目前, 接管路測試仍建議使用原廠泄壓閥Diffuser（壓力需在 30~150PSI,  非一般調壓閥, 請參考配線圖） +Particle counter ,

是因為為了維持進入Particle counter的氣體壓力能夠在常態 1atm 下 ,

及1CFM的取樣速度,故量測時間只需1min中就;（若0.1CFM的取樣速度,故量測時間需10min）_可以知道目前量測的情況,，數據傳輸方式: 請看各機型的通訊協議^^

高壓氣體微粒子計數器

< 高壓氣體微粒子計數器>

高壓氣體經過 Diffusor （30~150 Psi） 壓力調整至平常的壓力狀態后再經由Particle counter 讀出目前氣體中Particle 分布情形 ，可量測范圍0.O2um-1um。應用于電子廠、光電廠中高壓氣體如PN2、O2、H2、CDA、AR..等。

常見問題

一、有關請購之量測 High Pressure Gas Particle counter 注意事項
何種機型適合量測何種氣體??  
2100C/237H/3400/2400/227/HHPC2- 6/237 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1104 for PAr, CDA, GN2, PN2
 CNC1107 for H2, O2 inert gas

二、Sampleing Flowrate 需要 1.0 CFM 此大之耗量?
在相同的取樣本積下HPC-101取樣時間為MetOne2100的10倍
PMS需花10mins 才能知道完整的Data, MetOne2100只需1mins
zui少的損耗,快速即時的了解目前CDA的狀況。

三、Vacuum-Pump之作用為何?
是較新的設計, 與碳刷式PUMP不同的地方在于此設計在運轉時不會產生Particals污染環境,

四、請提供管路配置之流程圖及注意事項?
注意壓力是否有到達規定 30~150 Psi

五、放置環境條件有無限制?
Environment Operating 55 to 84°F （12 to 29°C）,
20 to 95% relative humidity, non-condensing
Storage -40 to 140°F （-40 to 60°C）,
up to 98% relative humidity, non-condensing
接CDA量測 露點電 –70度 , 沒問題
若需用ParticleCounter量測環境時, 只需將HPD從Particle Counter拆卸即可, 再用Particle Counter 量測Cleanroom（Class1~100）環境