CPM INFICON四極質譜分析儀
CPM 的特點
■ 用于監測復雜過程的四極氣體分析系統.
■ 允許7 天24 小時連續監測,達到zui大的產額和產量, 從而將成本降至zui低.
■ 足夠的小型和性能,可安裝在壓強很高的真空室內.
■ HexBlock 取樣系統的*性能.
■ 內置CDG, 用于過程壓強監測和真空聯鎖.
■ 備有可選的校準參考源, 用于調諧和氣體參.
■ 封閉的長壽命離子源可在阻擋大多數腐蝕性和反應性氣體的同時,檢測亞ppm 量級的污染物.
■ 重量輕,易搬運.
用戶*性
INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現現場早期報警:
■ 測量氣相反應;
■ 驗證真空的完整性;
■ 鑒別痕量污染物;
■ 測量過程與本底的組分;
■ 定性氣體純度.
CPM 良好的適配性
空間是可貴的,我們的CPM占空間小,可靈活安裝.為對被分析氣體影響zui小和在寬壓強范圍內快速提供結果,我們開發了多功能的HexBlock 注入口. 為確保zui高的
性能與可靠性, 我們采用已在12,000 臺以上Transpector 2 氣體分析系統上得到驗證的四極傳感器.為適應某些復雜應用,如刻蝕和CVD 中存在腐蝕性*的氣體, 我們采用化學惰性優等的316 不銹鋼加工。
支持
作為半導體市場RGA 產品的者, INFICON 具有發展創新與可靠的,增長產量的監測系統資源,加上應用網絡,需要時可隨時隨地提供專家支持與協助.
CPM INFICON四極質譜分析儀技術特點
1） 帶EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留時間下
2 ）質量數40 對41amu 的貢獻
3 ）零blast 對2amu 的貢獻
4 ）zui小可檢濃度,氪在空氣中在1-秒停留時間下
5 ）低發射下的線性,在0.1 至2 倍常規小孔壓強下
6 ）使用總壓強規管在低發射下的壓強調值
7 ）低發射下的總壓強精度
8 ）低發射下離子源zui大工作壓強（燈絲關斷閾值）
9 ）在封閉型離子源中2E-4 乇,在四極場范圍中將產生約1E-5 乇
10） zui小EM 增益在zui大EM 電壓下
尺 寸
