臭氧對酵母和寄生生物等也有活性，例如可以用它去除以下類型的微生物和病毒。 
①病毒 已經證明臭氧對病毒具有非常強的殺滅性，例如Poloi病毒在臭氧濃度為0.05-0.45mg/L時，2min就會失去活性。 
②孢囊 在臭氧濃度為0.3mg/L下作用2.4min就被*除掉。 
③孢子 由于孢衣的保護，它比生長態菌的抗臭氧能力高出10-15倍。 
④真菌 白色念珠菌（candida albicans）和青霉屬菌（penicillium）能被殺滅。 
⑤寄生生物 曼森氏血吸蟲（schistosoma mansoni）在3min后被殺滅。 
此外，臭氧還可以氧化、分解水中的污染物，在水處理中對除嗅味、脫色、殺菌、去除酚、氰、鐵、錳
和降低COD、BOD等都具有顯著的效果。
啟達制藥車間消毒臭氧發生器投加方案：
（一）采取臭氧消毒滅菌方式在具有空調凈化系統（簡稱HVAC系統）控制的潔凈環境中的應用機理與*性
　　利用HVAC系統的循環風作為臭氧的載體，即將臭氧發生器生產的臭氧化氣體由HVAC系統中凈化風機產生的壓力風源，
擴散至所控制的整個潔凈區域，并且使空氣中臭氧濃度均勻，在潔凈區域的生產環境中不增加任何消毒設備，即可達到滅菌的目的，
同時對HVAC系統起到殺滅雜菌和霉菌的效果，實踐發現，該消毒滅菌方式還能對高效過濾器起到溶菌疏導作用，延長其使用壽命。

（二）*空調內置式臭氧發生器
   將臭氧發生器內置于*空調風柜內，引出控制線，在操作方便的地方安裝上控制箱，通過控制臭氧發生器的工作來達到消毒殺菌的目的