本儀器低電壓小電流工作,適用于低溫冷槽車和工業氣體設備、藥廠粉塵車間等易燃易爆環境真空測試。
本儀器應用真空中熱傳導與真空度有關的原理測量真空。采用美國Posifa公司MEMS皮拉尼真空傳感器(鉑薄膜)封裝制造,該測量元件是由一個置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構成。隔熱膜懸覆在一個微加工的25微米深空腔上,空腔底部表面與隔熱膜平行,以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積小(即空腔容積小),Posifa傳感器能夠提供超低的功耗和快速的響應時間。Posifa傳感器還提供了一個與測量電阻具有相同電阻溫度系數(TCR)的基準電阻,布置在傳感器芯片基板上。線路設計利用它來進行環境溫度補償。儀表的數據采集選用16位高速電路及高穩定微處理機監控新型線路,在分析儀器、半導體設備、機械泵測試、真空冶煉、真空浸漬、空調冰箱生產線等工業和科研部門有廣泛應用。