ICP光譜耗材是多元素順序測量的分析測試儀器。該儀器由掃描分光器、射頻發生器、試樣引入系統、光電轉換、控制系統、數據處理系統、分析操作軟件組成。
ICP光譜耗材等離子體是在三重同心石英炬管中產生。炬管內分別以切向通入氬氣，炬管上部繞有紫銅負載線圈〈內通冷卻水〉當高頻發生器產生的高頻電流(工作頻率40MHz功率1KW左右)通過線圈時，其周圍產生交變磁場，使少量氬氣電離產生電子和離子，在磁場作用下加速運動與其它中性原子碰撞，產生更多的電子和離子，在炬管內形成渦流，在電火花作用下形成等離子炬(即等離子體)，這種等離子體溫度可達10000K以上。待測水溶液經噴霧器形成氣溶膠進入石英炬管中心通道。
原子在受到外界能量的作用下電離，但處于激發態的原子十分不穩定，從較高能級躍遷到基態時，將釋放出巨大能量，這種能量是以一定波長的電磁波的形式輻射出去。不同元素產生不同的特征光譜。這些特征光譜通過透鏡射到分光器中的光柵上，計算通過控制步進電機轉動光柵,傳動機構將分光后的待測元素特征譜線光強準確定位于出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強轉變為電流，再經電路處理和V/F轉換后，由計算機進行數據處理，zui后由打印機打出分析結果。
