500W標準射頻電源
標準系列射頻電源擁有體積小、重量輕、高效率等優點。大屏幕液晶顯示:設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數,同時還可以顯示匹配器的運行參數。并且通過數字通訊技術連接射頻電源和匹配器,從而實現在射頻電源面板上就可以操作匹配器。電源融合工業應用所需的大部份功能,都可以通過面板操作設定界面實現。包括:控制方式選擇:面板控制、模擬口控制、數字通訊控制??梢栽O定通訊參數,通訊地址等。脈沖參數:脈沖頻率、占空比等。完備的接口控制方式,使其方便與現在通用的射頻電源:AE、MKS、COMDEL等品牌實現互換
500W | |||
輸出功率 | 0-500W | 模擬控制接口 | DB15 |
功率穩定度 | ≤±0.5% | 輸出接口 | N/UHF |
輸出頻率 | 13.56MHz | 尺寸 | 440(寬)×380(深)×84(高)標準2U |
頻率信號 | 標準正弦波 | 面板尺寸 | 480(寬)×88(高) |
輸入電壓 | AC180-250V | 重量 | 8.5Kg |
輸入電流 | 5A | 脈沖 | 有 |
輸出阻抗 | 50歐 | 脈沖頻率 | 100-10KHz |
承受駐波比 | >3.0 | 占空比 | 10%-90% |
冷卻方式 | 風冷 | 主從模式CEX | 有 |
通訊口 | RS232 RS485 標準Modebus | 匹配器控制 | 有 |