微型質量流量計測量原理
質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。
微型質量流量計主要特點
1. 適用多種介質
2. 測量準確度高
3. 安裝直管段要求低
4. 可靠性好
5. 維修率低
6. 具有核心處理器
主要分類
質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。
直接式
直接式質量流量計有多種類型，如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。這種儀表適于測量小流量氣體，缺點是惰性大，測量值與氣體的定壓比熱有關，測量元件與介質接觸，易被沾污和腐蝕。 為雙孔板差壓式質量流量計。在管道A、B處安裝兩個相同的孔板。在分流管道中裝有兩個相同的可產生方向相反的恒定體積流量q的定流量泵。兩孔板前后壓力差△P=P1-P3=4Kρ，與ρ、Q成正比。式中K為常系數，ρ為密度，Q為管道體積流量，ρQ即為質量流量。雙葉輪式質量流量計是在同一直線上前后安裝兩個傾角分別為x1和x2的葉輪，兩葉輪之間利用扭簧連接，流體通過時，兩葉輪之間產生一個偏移角x，那么兩葉輪間力矩差△M與質量流量Qm，流速u，傾角x1，x2存在△M=Qm*u*(k1*tgx1-k2*tgx2)的關系（k1和k2為葉片結構尺寸常數），△M=k3*u*Qm，(k3=k1*tgx1-k2*tgx2).偏移角x=k4*△M=k4*k3*Qm*u;而葉輪組旋轉速度U與流體的流速成正比，U=k6*u，則整個葉輪組轉過兩葉輪偏角x所需的時間△t=x/U=k7*Qm.通過計數器測量出△t便能得出質量流量Qm。
間接式
間接式質量流量計有 3種主要型式:速度式流量計與密度計的組合，節流式（或靶式）流量計與容積式流量計的組合，節流式（或靶式）流量計與密度計組合。
還有一種根據流體的工作壓力、溫度將容積流量計的測量值換算成標準狀態下的容積流量。但是，當介質的種類或成分改變時，它不能給出準確的質量流量。嚴格說來，它不屬于質量流量計。 輸出密度、比重、體積流量、質量流量、質量能量流量等，兼有指示、模擬量輸出、打印、越限報警、儀器故障報警等多種功能。
熱式
熱式質量流量計的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質量流量。
當流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現，所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。
為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。
差壓式
差壓式質量流量計是以馬格努斯效應為基礎的流量計，實際應用中利用孔板和定量泵組合實現質量流量測量。常見的有雙孔板和四孔板與定量泵組合兩種結構。
雙孔板結構形式如圖6所示，在主管道上安裝結構和尺寸*相同的兩個孔板A和B，在分流管道上裝置兩個流向相反、流量固定為的定量泵，差壓計連接在孔板A入口和孔板B出口處。
科里奧利
科里奧利質量流量計（簡稱科氏力流量計）是一種利用流體在振動管中流動而產生與質量流量成正比的科里奧利力的原理來直接測量質量流量的儀表。
科氏力流量計結構有多種形式，一般由振動管與轉換器組成。振動管（測量管道）是敏感器件，有U形、Ω形、環形、直管形及螺旋形等幾種形狀，也有用雙管等方式，但基本原理相同。下面以U形管式的質量流量計為例介紹。
★ 技術指標
主要參數
質量流量精度: ±0.002×流量±零點漂移
密度測量精度: ±0.003g/cm3
密度測量范圍: 0.5~1.5g/cm3
溫度測量精度: ±1°C
傳感器
環境溫度: －40~60°C
介質溫度: －50~200°C
防爆類型: iBⅡBT3
關聯設備: 配套變送器
變送器
工作溫度: 0~60°C
相對濕度: 95%以下
電 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
