KAMAN埃米級電渦流傳感器SMT9700在半導體晶片膜厚度控制中的應用
KAMAN電渦流傳感器SMT9700硅晶片上的膜是通過化學氣相沉積（CVD）生成的。
KAMAN埃米級電渦流傳感器SMT9700在半導體晶片膜厚度控制中的應用
KAMAN電渦流傳感器SMT9700硅晶片上的膜是通過化學氣相沉積（CVD）生成的。怎樣確保在晶片上形成均勻的化學層沉積呢？
KAMAN電渦流傳感器能靜態和動態地非接觸、高線性度、高分辨力地測量被測金屬導體距探頭表面的距離。它是一種非接觸的線性化計量工具。電渦流傳感器能準確測量被測體（必須是金屬導體）與探頭端面之間靜態和動態的相對位移變化。
1 在渦流技術領域處于*的地位
2 在精確位置測量方面擁有超過40年的豐富經驗
3 產品眾多，可以根據用戶需要提供各種解決方案
解決方案
SMT-9700化學沉淀反應開始之前，用KAMAN電渦流傳感器確保半導體晶片圓盤是平行于氣體分散噴頭（參見圖1）。當然該傳感器是用于校驗過的，量程在半導體晶片圓盤位置限定之內。
KAMAN產品的特點：
·渦電流技術的*
·在位置測量領域有超過三十年的經驗
·標準產品的規格非常齊全
·特制產品可滿足客戶個性化需求
·性能穩定，可重復精度高
·可達到次納米的精度
·堅固，可靠
KAMAN系統提供模擬輸出或可選的數字信號接口。如果半導體晶片圓盤是傾斜的，致動器會根據KAMAN系統輸出的信號自動調整到水平。
結果：能得到*并且均勻的沉積薄膜。
KAMAN電渦流傳感器SMT9700系統提供種類齊全的探頭以供選擇。
SMT9700電渦流傳感器尺寸小巧
埃米級分辨率
有1、2或3通道可配電渦流探頭
可配13種電渦流探頭
工作溫度：0～70oC(補償范圍15～55oC)
符合CE和RoHS標準
輸出負載電流<20mA(有短路和過載保護)
供電電壓：15～30V，<50mA(有容錯保護、短路保護)
成都洪勝科技有限公司
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