4200-SCS型半導體特性分析系統

容易使用的4200-SCS型半導體特性分析系統用于實驗室級的器件直流參數測試、實時繪圖與分析，具有高精度和亞f*的分辨率。它提供了的系統集成能力，包括完整的嵌入式PC機，Windows操作系統與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數據的過程，這樣用戶可以更快地開始分析測試結果。其它一些特征使得應力測量功能能夠滿足各種可靠性測試的需求。

可選儀器：

* 4225-PMU超快I-V模塊

* 4220-PGU脈沖發生器單元（僅電壓源）

* 4225-RPM遠程放大器/開關

* 4200-SMU中等功率源測量單元

* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源測量單元

* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA遠程前置放大器選件

* 4210-CVU 1kHz - 10MHz電容電壓測量單元

* 4200-SCP2雙通道示波器卡

* 4200-SCP2HR 200MS雙通道示波器卡

超快I-V應用套件：

* 4225-PMU超快I-V模塊

主要特點及優點

• * 直觀的、點擊式Windows操作環境
• * *的遠端前置放大器，將SMU的分辨率擴展至 0.1fA
• * 用于高級半導體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能
• * 集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡
• * 內置PC提供快速的測試設置、強大的數據分析、制圖與打印、以及測試結果的大容量存儲
• * *的瀏覽器風格的軟件界面，根據器件的類型來安排測試，可以執行多項測試并提供測試序列與循環控制功能
• * 內置了Stress/Measure，循環和數據分析功能，通過鼠標點擊方式就可進行可靠性測試，包括5個JEDEC規范的樣品測試
• * 支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈沖發生器等多種外圍設備
• * 硬件由 Keithley交互式測試環境（KITE）來控制，用戶測試模塊功能，可用于外接儀表控制與測試平臺集成，是KITE功能的擴充
• * 包括驅動軟件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自動和手動探針臺
• * 支持*的半導體模型參數提取，包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

• 半導體器件：
• 片上參數測試
• 晶圓級可靠性
• 封裝器件的特性分析
• 使用Model4200-SCS控制外部LCR表進行C-V、I-V特性分析
• 高K柵電荷俘獲
• 易受自加熱效應影響的器件和材料的等溫測試
• 電荷泵方法分析MOSFET器件的界面態密度
• 電阻式或電容式MEMS驅動特性分析
• 光電器件：
• 半導體激光二極管DC/CW特性分析
• 收發模塊DC/CW特性分析
• PIN和APD特性分析
• 科技開發：
• 碳納米管特性分析
• 材料研究
• 電化學

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