電容式變送器的故障部位一般分為傳感器故障和電子檢測及放大轉換故障。傳感器一般不易出現問題，應重點檢測電路部分。電容式變送器的故障現象主要有以下幾種:
電容式變送器輸出不穩定
檢查變壓器是否有間歇性的短路、開路和多點接地的現象；檢查加到變壓器的電壓是否穩定正常；穩壓電路是否正常；檢測各個穩壓二極管、測試振蕩頻率是否穩定；電路板有無虛焊。
2.輸出非線性
此類故障出現的相對多一些且檢測難度大，電路中各個部分參數變差都可能引起此類故障。但其主要出現在非線性調整電路部分。其電路如圖3所示。
用萬用表電阻擋檢測二極管V9、V10、線形電位器R24、電阻R23、R22及C3、C6、C4是否正常，調節R24輸出是否有相應變化，以上元件的損壞經常引起線性不好。
電容式變送器輸出過大
在沒有壓力(差壓)的情況下，變送器輸出電流(mA)數過大，有時超量程，調整零點及量程電位器不起作用。出現此故障的電路部分較多，且經常損壞的是電路的后極，即電流控制放大器到電流控制輸出部分。
IC3為電壓放大器經V17轉換為mA輸出。用萬用表直流電壓擋測IC3的3腳電位值，調節量程或零點，3腳電壓應有變化，說明前極回路正常。同時測量6 腳輸出應有放大的電壓信號輸出。從而判斷IC3及外圍偏置回路是否正常。若6腳電壓始終很高(接近電源電壓)，則可判斷為IC3損壞，更換同型號 LM308即可。若IC3正常，則用萬用表測量V17、V18是否擊穿。在實際檢測中，經常遇到V17、V18擊穿致使輸出過大。
電容式變送器無輸出或輸出過小
檢查加到變壓器兩端的電壓是否正常；集成運算放大器兩端電壓是否正常；判斷振蕩電路是否起振；量程、零點、電位器調節電壓是否變化及15Ω量程負載電阻是否損壞。用檢測輸出過大的方法檢測后極電路，判斷后極電路是否正常。
電容式壓力變送器、差壓變送器、液位變送器在*的運行工作中，出現的故障形式各異。在處理故障時應通過細致的觀察、分析，確定故障的大體位置及解決步驟，再動手調試及檢測，這樣就可以取得事半功倍的效果。此外，在此提醒使用單位注意，儀表在維修后一定要經過調校和檢定合格后，才可投入正常的使用。
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