SF6氣體抽真空充氣裝置一體式回收裝置，由抽真空系統與壓縮 系統、凈化系統、存儲系統及冷凝系統。SF6氣體回收凈化充氣裝置 是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠組成，使用運行科研等部門, 對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或 試驗的電器中回收SF6氣體，同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。回 收裝置適用于各種電壓等級的SF6電器及GIS組合電器等。
具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系 統比較*。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電 控箱和球閥來完成。
回收裝置的基木工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓 縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓 縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度 特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣 連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
在充放時，首先利用木裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和 連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造 成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到 所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特 性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮 機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
系統回路中設置了干燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純 度并有效去除水分。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再 生，分子篩從而能反復使用。
