NANO-MASTER的微波PECVD系統產品順利應用于中科院深圳*技術研究院，該系統即將配套遠程微波等離子源，帶直流偏壓，支持高達900度的樣品臺加熱，提供精確的控溫，該系統可以支持石墨烯和CNT碳納米管陣列。
根據客戶要求，配套的遠程微波源將真正實現對所沉積薄膜的無損傷。高溫可以支持碳類薄膜的應用，在等離子作用下，實際的應用溫度將得以大大降低。系統將采用計算機全自動的工藝控制，配套的軟件將方便用戶實現高重復性地沉積應用。該系統所采用的緊湊設計，將大大節省實驗室的空間，并可以支持百級的超凈間使用。
凡本網注明"來源：儀表網"的所有作品，版權均屬于儀表網，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明"來源：儀表網"。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
本網轉載并注明自其它來源的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品來源，并自負版權等法律責任。
如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
合作、投稿、轉載授權等相關事宜，請聯系本網。聯系電話：0571-87759945，QQ：1103027433。
