江蘇大學的磁控濺射系統成功應用六周年,那諾-馬斯特中國有限公司正式表達祝賀。自驗收開始,截止目前為止,該磁控濺射系統運行穩定正常。
該系統給用戶提供了RF濺射能力和DC直流濺射能力,可以支持金屬濺射、導磁材料濺射,以及介質材料濺射和序列濺射,和反應濺射。該系統在客戶的微納工藝的應用方面提供了重要的作用,系統展現出快速濺射能力、高度的均勻性、高重復性和穩定性。
NANO-MASTER那諾-馬斯特的磁控濺射系統型號包含NSC-1000型單金屬靶材的臺式濺射系統,不但可用于電鏡制備,也可以用于常規的金屬濺射。NSC-3000為可支持最多4個靶的DC濺射或RF濺射的臺式系統。NSC-3500為緊湊型獨立式磁控濺射系統,可以支持金屬材料的DC濺射,介質材料的RF濺射,以及脈沖DC濺射等應用。NSC-4000型為獨立式磁控濺射系統,可支持共濺射等能力的擴展。