原理：三次元量測儀可定義為：一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(如光學尺)經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(x,y,z)及各項功能量測的儀器。其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后即可顯示出來，其系統及輸出信號情形。
操作：
1、量測前準備：
(a)檢查空氣軸承壓力是否足夠
(b)安裝工件
2、測頭選擇及安裝：
(a)將適當之測頭裝于Z軸承接器
(b)檢視Z軸是否會自動滑落(否則應調整紅色壓力平衡調整閥)
( c)鎖定各軸之適當位置
3、量測操作：
(a)開啟處理機電源
(b)啟開打印機開關
(c)參考操作手冊，選擇所需功能之指令
(d)進行量測，并讀出量測值
4、完成后注意事項：
(a)Z軸移至原來位置后，鎖定
(b)X,Y軸各移至*，鎖定
(c)關電源及壓力閥
(d)取下測頭
(e)并作適當的保養
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