由于激光發散性很小，測距精度高，人們在幾十年前就開始用激光干涉儀來測距離，進而用它測直線度和角度，特別在較長距離的測量中發揮了它的優勢。
但是激光干涉儀使用時要求找好準直，如果干涉鏡或反射鏡偏離了激光光軸，那么就出錯，而且不能斷光再續，必須重新再來，甚至中間有東西擋一下光也是如此。這些限制了它在空間坐標測量中的應用，另一方面激光終究是一個測長的工具，要用來做空間測量則必須尋求其他的定位裝置。激光跟蹤儀無需使用反射球，即可確認三維空間中點的位置，而其精度更可達到計量等級。
激光跟蹤儀是重要的大尺寸精密測量儀器，主要用于高精度大型設備生產制造和裝配過程的幾何參數測量。它集合了激光干涉測距技術、光電探測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現代數值計算理論等各種先進技術，對空間運動目標進行跟蹤并實時測量目標的空間三維坐標。
激光跟蹤儀具有高精度、高效率、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點，適合于大尺寸工件配裝測量。激光跟蹤儀的校準需用到室內大長度測量裝置、空間點對點短標尺、標準圓軌跡發生器等大尺寸標準器系列裝置。
該裝置實現全長線性誤差小于3μm，有效提升了激光跟蹤儀空間點對點示值誤差的校準能力，使廣州院室內大長度標準裝置得到進一步提升和完善。
中測院機械所科研團隊研發的大尺寸標準器系列裝置具有完全自主知識產權和自有核心技術，獲得四川省科技進步二等獎1項，獲得發明專利4件，軟件著作權3件，實用新型專利5件，發表論文10余篇。
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