【儀表網 儀表標準】近日,國家標準計劃《真空技術 真空泵性能測量標準方法 第3部分:機械增壓泵的特定參數》和《真空技術 真空計 電容薄膜真空計的規范、校準和測量不確定度》編制完成并公開征求意見,時間截止至9月20日。
《真空技術 真空泵性能測量標準方法 第3部分:機械增壓泵的特定參數》
機械增壓真空泵在國內外亦被稱作羅茨真空泵,是容積真空泵的重要分支。它可以在較寬的壓力區域內實現較大的抽速,尤其是在10-1Pa - 102 Pa這個壓力范圍內,其他的高真空泵和低真空泵不能實現高抽速。因具有這種特性,至今在機械通用行業、半導體行業、光伏行業、航空航天工業、制藥工業、真空冶金行業等得到大量應用。
GB/T 40344.1和 GB/T 40344.2中規定的測量方法和裝置可以用來測量機械增壓真空泵的體積流率。然而,由于機械增壓泵設有前級真空泵,測量方法不同于普通的高真空泵或低真空泵,特別是測量一些重要參數時,如最大容許壓差,零流量壓縮比和溢流閥壓差等,并未涵蓋在這兩項標準中。
實際應用中急需對其測量方法標準化,以使生產者和最終用戶對不同機械增壓泵的性能進行比較。亦能對這兩項標準進行有效補充。本標準的制定可為羅茨真空泵的設計、制造、驗收、檢測和使用提供指導和規范,同時可為羅茨真空泵的推廣應用提供有效的技術支撐和科學合理的測試比對方法。
本文件規定了機械增壓真空泵的最大容許壓差、有效壓縮比、零流量壓縮比和溢流閥壓差的測量方法和特殊的要求。文件中所涉及的機械增壓泵包括用于中真空或粗真空應用的機械增壓泵、氣冷式機械增壓泵及多級機械增壓泵系統。
《真空技術 真空計 電容薄膜真空計的規范、校準和測量不確定度》
電容薄膜真空計最大的問題是供需關系倒置,購買方需要向供方提供書面申請,待供方批準后才能獲得購買權限,這就造成了購買方在儀器的技術要求上沒有話語權。而部分供方在概念上混淆,例如用“測量誤差”代替“測量精密度”或“測量準確度”。本標準對于有可能出現在產品說明書或技術要求文件上的名詞均給出了定義,關鍵名詞還給出了測量或評價方法,有助于生產廠家給出的技術要求具有可比性。
該標準給出了校準電容薄膜真空計應該注意的一些影響量,例如溫度效應等,可以作為電容薄膜真空計校準規范的補充說明。本標準給出了評估電容薄膜真空計不確定度需要考慮的不確定度分量,有助于檢測機構能夠更為合理的評估其性能,不會因為由于丟項而評估的不確定度偏小。
該標準可用于規范電容薄膜真空計生產廠家給出的技術指標,使其具有可比性,方便用戶選擇。明確測量誤差與測量精密度的區別,以免發生混淆,特別是對于可以調節顯示值的薄膜計,不能以調整后的測量誤差代替測量精密度寫入技術文件。該標準將會對電容薄膜真空計的生產廠家給予一定的制約,使其能夠更為合理的評價產品性能,為用戶購買選型提供技術上的保證。
該標準還對計量部門及校準實驗室提供了詳細校準過程,不確定度評定方法,對其校準工作提供了技術指導。通過本標準的制定,可以推動我國電容薄膜真空計產品質量的提高,同時可使我們電容薄膜真空計的產品性能、校準方法與國際通行方法接軌,具有明顯的社會效益和經濟效益。
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