【儀表網 儀表新品】2022年8月4日，炬光科技全新發布Flux H系列可變光斑激光系統。該系統輸出光斑長度和寬度在2mm到200mm范圍內分段連續可調，光斑均勻度>95%，具備閉環溫控功能，適用于泛半導體制程解決方案。
 

Flux H系列可變光斑激光系統
 

　　隨著激光技術的飛速發展，激光應用領域在廣度和深度上不斷拓展，各行業對于加工效率以及加工精度也不斷提出更高要求，進而對高均勻度以及不同尺寸光斑的需求不斷增多。激光光斑從傳統的“點”已經逐漸發展為加工效率更高的“線”和“面”。目前高均勻度(>95%)，且長寬靈活可變的“線”、“面”光斑已被廣泛應用在面板顯示、集成電路、鋰電池制造、玻璃和光伏等泛半導體制程解決方案。
 

　　產品特點及應用
 

　　01 基于4000W功率976nm波長的半導體光源
 

　　02 實現輸出光斑長寬方向2~200mm分段連續可調
 

　　03 光斑能量均勻度>95%
 

　　04 紅外溫度監控和閉環溫度控制功能
 

　　Flux H系列可變光斑激光系統，使用4000W功率976nm波長的半導體光纖輸出激光光源，通過炬光科技自主知識產權的光學設計，從光斑長度和寬度方向分別使用微光學模組進行光斑尺寸調控和光學勻化設計，光斑長度和寬度可實現從2mm到200mm分段連續可調，且光斑能量均勻度>95%。根據特定的應用和工藝需求，不同的光斑尺寸變化范圍匹配相應的工作距離，做到產品配置靈活可變；同時基于獨特的光學設計，系列產品集成了高響應速度的紅外測溫系統，能夠實時監控工藝區域的溫度，并通過閉環溫度控制系統進行功率調節和工藝溫度恒定控制，以滿足不同場景下的應用需求。
 

　　Flux H系列可變光斑激光系統，通過不同的激光功率和靈活的光斑尺寸選擇，結合集成度極高的加工頭設計，適用于材料非接觸加熱、激光輔助鍵合、激光巨量焊接、激光干燥、材料表面處理等各類應用。
 

　　產品性能參數
 

不同工作距離下的光斑尺寸變化范圍