【儀表網 儀表產業】11月9日，中國政府采購網發布華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目國際公開招標公告，共分六個包，預算金額共1882萬元，投標人可對下述任一個包件或多個包件進行投標。潛在投標人應在上海市曹楊路528弄35號中世辦公樓會議室5樓辦公室獲取招標文件。
包件一:等離子體化學氣相沉積(PECVD)
包件二:等離子增強原子層沉積系統
包件三:高分辨率X-射線衍射儀
包件四:磁控濺射鍍膜系統、電子束蒸發鍍膜系統
包件五:半導體綜合測試系統-變溫真空探針臺
包件六:臺式微納結構高速直寫系統
包件一項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：400.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：400.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號： 1069-224Z20223841/01
包件一:等離子體化學氣相沉積(PECVD)
合同履行期限：合同簽訂后 290 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
包件二項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：380.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：380.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號：1069-224Z20223841/02
包件二： 等離子增強原子層沉積系統
合同履行期限：合同簽訂后 240 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
包件三項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：250.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：250.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號： 1069-224Z20223841/03
包件三： 高分辨率X-射線衍射儀
合同履行期限：合同簽訂后 240 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
包件四項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：550.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：550.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號： 1069-224Z20223841/04
包件四： 磁控濺射鍍膜系統、電子束蒸發鍍膜系統
合同履行期限：合同簽訂后 365 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
包件五項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：122.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：122.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號： 1069-224Z20223841/05
包件五： 半導體綜合測試系統-變溫真空探針臺
合同履行期限：合同簽訂后 210 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
包件六項目基本情況
項目編號：1069-224Z20223841(代理機構內部編號：招案2022-3841)
項目名稱：華東師范大學等離子體化學氣相沉積(PECVD)、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
預算金額：180.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：180.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
招標項目編號：1069-224Z20223841/06
包件六： 臺式微納結構高速直寫系統
合同履行期限：合同簽訂后 180 天交貨
本項目( 不接受 )聯合體投標。
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