【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】近日，由河北美泰電子科技有限公司 、安徽天兵電子科技股份有限公司 、中國電子科技集團公司第十三研究所 、中機生產(chǎn)力促進中心有限公司 、中央軍委裝備發(fā)展部軍事代表局駐石家莊地區(qū)軍事代表室 、廣東大普通信技術(shù)股份有限公司 、西安現(xiàn)代控制技術(shù)研究所 、深圳市諾信博通訊有限公司等單位起草，TC336(全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會)歸口的國家標準計劃《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 射頻MEMS環(huán)行器和隔離器》的征求意見稿已編制完成，現(xiàn)公開征求意見。
 

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件等同采用IEC 62047-41:2021《半導體器件 微機電器件 第41部分：射頻MEMS環(huán)行器和隔離器》。本文件做了下列最小限度的編輯性改動：
 

　　——為與現(xiàn)行的MEMS領(lǐng)域國家標準命名方式協(xié)調(diào)一致，本國家標準的名稱為《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 射頻MEMS環(huán)行器和隔離器》。
 

　　本文件規(guī)定了射頻MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)環(huán)行器和隔離器的術(shù)語、基本額定值、特征參數(shù)以及測量方法。
 

　　本文件主要說明如下：
 

　　1)第1章 范圍：本文件規(guī)定了射頻MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)環(huán)行器和隔離器的術(shù)語、基本額定值、特征參數(shù)以及測試方法。
 

　　2)第2章 規(guī)范性引用文件：主要列出了本文件引用的 IEC 和國家標準化文件，引用的國家標準按照 GB/T 1.2-2020 給出了國標的采標情況以方便使用者。
 

　　3)第3章 術(shù)語和定義：規(guī)定了本文件需要界定的術(shù)語和定義。
 

　　4)第4章 基本額定值和特征參數(shù)：規(guī)定了本文件涉及到的射頻 MEMS 環(huán)行器和隔離器的基本額定值和特征參數(shù)。
 

　　5)第5章 測試方法：規(guī)定了射頻 MEMS 環(huán)行器和隔離器插入損耗、隔離度、回波損耗、電壓駐波比、輸入阻抗以及磁泄露的測試方法。
 

　　6)第6章 可靠性測試：規(guī)定了射頻 MEMS 環(huán)行器和隔離器功率容量、壽命、溫度循環(huán)、沖擊測試、振動測試以及鍵合強度和焊接剪切強度測試方法。
 

　　射頻 MEMS 環(huán)行器和隔離器突破了小型化硅腔體傳輸結(jié)構(gòu)設計、旋磁材料與硅晶圓的圓片級異質(zhì)封裝等關(guān)鍵技術(shù)，具備高性能的同時大大縮小了體積和重量，解決了相控陣雷達、彈載導引頭及衛(wèi)星通訊等國家重點工程和重大裝備的急需，具有廣闊的應用前景。另外在 5G 領(lǐng)域，射頻 MEMS 環(huán)行器和隔離器因其采用 MEMS 工藝加工，具有小型化、低損耗、輕量化、一致性好等特點，該類環(huán)形器解決了 5G 基站毫米波頻段環(huán)形器損耗大、一致性差、成本高等瓶頸問題，對于 5G 基站毫米波頻段的應用具有非常重要的意義。
 

　　射頻MEMS環(huán)行器和隔離器是雷達及基站收發(fā)系統(tǒng)中的核心器件，《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 射頻MEMS環(huán)行器和隔離器》對其基本參數(shù)、測試方法、可靠性測試等進行了規(guī)定，提高了基于MEMS工藝制作的環(huán)行器和隔離器的準確性和規(guī)范性，為射頻MEMS環(huán)行器及隔離器可靠性提供依據(jù)，使我國射頻MEMS環(huán)行器及隔離器達到國際水平，對我國雷達及基站通信系統(tǒng)具有深遠意義。
 

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