【儀表網 儀表研發】2020年10月27日，上海市市場監督管理局主持召開了由上海計量院承擔的科研項目“微納米測量儀在微球和超高樣品檢測中的應用研究”驗收會。與會專家聽取了項目組的匯報，審閱了項目組提供的驗收資料后，一致認為該項目達到計劃任務書既定的考核指標，同意項目通過驗收。
項目針對超精密加工領域中典型零部件微球和超高樣品的表面形貌檢測需求，對跨尺度微納米測量儀的多維定位樣品臺、測頭掃描子系統和應用軟件進行二次應用開發，完成微球檢測系統的設計與實現、超高超寬樣品檢測系統的設計與實現和微納米測量儀測量指標提升與評價等研究工作。項目組發表學術論文2篇，申請發明專利1項，獲得軟件著作權6項。
項目是在上海計量院承擔的重大科學儀器設備開發專項成果基礎上，繼續鉆研微納米測量技術，進一步提升了微納米測量儀的測量范圍、重復性及測量不確定度，并解決微納制造領域的相關應用問題。
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