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緊湊型主動隔振平臺STACIS IIIc
STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用，因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。
在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規STACIS III高度的60％。在具有3個以上隔離器的系統中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負載設置。有關詳細信息，請參見下面的規格。
STACIS IIIc優勢
與常規STACIS III系統相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒有降低。
STACIS比空氣隔振器堅固數百倍，沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方，使兩個系統都在**狀態下運行。
串行設計和專有的高力壓電技術
可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
緊湊型主動隔振平臺STACIS IIIc 性能規格
規格
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步進輸入后的穩定時間 （減少10:1） | 0.3秒 |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） |
| 剛度（1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發射的磁場 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器設計、尺寸、環境和效用要求
| 環境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
| 主動隔振元件 | **小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
| 被動隔振元件 | 單個硬質各向同性彈性體（無需壓縮空氣源） |
| 振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓 |
| 主動反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動 |
| 隔振器尺寸（寬x深x高） | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 隔振器重量 | 53磅（24千克） |
| 工作溫度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 儲存溫度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 濕度 | 30 - 60% |
| 系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標準 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每個系統的隔振器數量 | 至少3個 |
| 可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
