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| 污染類型 | 清洗劑 | 操作參數 | 風險提示 |
| 無機鹽結垢 | 5%檸檬酸 | 40℃循環沖洗30min | 禁止用于鉭電極 |
| 有機污染 | 0.1% Triton X-100 | 超聲波清洗（40kHz,10min） | 可能損傷PFA襯里 |
| 微生物膜 | 3%過氧化氫 | 浸泡2小時后高壓水沖 | 需排空管路氣體 |
非接觸式電極技術：
電容耦合式：通過聚酰亞胺薄膜隔離介質（德國IFM公司CM系列）
微波式：適用于電導率≥0.01 μS/cm（日本橫河AXF系列）
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