Alicat的新版質量流量計和質量流量控制器擁有的流量精度新水平。通過改進的溫度和壓力補償,我們的流量測量更能抵抗溫度和壓力變化帶來的影響。電路板全部重新設計,增加了信噪比,并大大提高了原始傳感器數據采樣的分辨率。這些改進使得本就非常出色的Alicat質量流量儀表成為市場上的差壓流量測量系統之一。
Alicat設備現在比以往任何時候都更加
Alicat質量流量儀表的校準精度提升至±0.6%Rd或±0.1%F.S.,兩者以較大者為準(高精度校準精度提升至±0.5%Rd或±0.1%F.S.)
而我們老版本的流量儀表,標準校準精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.),高精度校準精度為±(0.8%Rd +0.2%F.S.)。
量程比和分辨率規格從200:1和4位總數字提高到10000:1和5位總數字,并進行了補償改進,使流量分辨率規格提高了10倍。
圖一 Alicat 新老版本精度對比
用一個Alicat流量設備替換多個不同量程熱式MFC
我們的可用量程范圍明顯高于競爭對手;由于量程范圍限制,在其他熱式流量計/控制器的系統中可能需要兩臺MFC,但Alicat只用一臺就可以覆蓋全量程。例如,如果您需要控制100 SLPM到100 SCCM之間的氧氣流量,一個Alicat MFC可以在整個范圍內提供的、可重復的控制。大多數基于熱式的MFC則需要兩個或多個MFC才能完成相同的任務。我們能為客戶實現:
精度的提高意味著工藝的改進:
分辨率的提高意味著更精細的控制:
精度計算示例:
要使用新規范計算Alicat儀表的精度,您需要了解流量儀表的量程及其讀數。
假設一個標準校準的M系列質量流量計的全量程為10 SLPM,讀數為5 SLPM。對于標準精度規范,16.7%的滿量程值是一個轉折點。當讀數低于滿量程的16.7%時,用滿量程的0.1%來計算誤差更大一些。當讀數高于滿量程的16.7%時,用讀數值的0.6%來計算誤差更大一些。由于5SLPM的流量高于滿量程的16.7%,故精度計算基于流量的實際讀數:
精度= ±0.6%的讀數值 = (0.005)(5 SLPM) = ±0.03 SLPM
如果流量讀書低于滿量程的16.7%,如0.5SLPM,此時精度計算是基于滿量程值:
精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
對于高精度規范,轉折點是滿量程的20%。采用前一個例子來計算,結果如下:
讀數為5SLPM時,精度= ±0.5% 的讀數值= (0.005)(5 SLPM) = ±0.025 SLPM
讀數為0.5SLPM時,精度= ±0.1% 的滿量程值= (0.01)(10 SLPM) = ±0.1 SLPM
圖二 新版本較老版本精度提升比例
實用術語:
滿量程:設備大的校準讀數。對于雙向流設備,請參閱相關規范表以了解完整的規格說明。
分辨率: 讀取/控制變量的小位數。
% Rd: 取決于實際讀數值的精度指標,與滿量程無關。用該數值乘以實際讀數值就能得到在某一特定讀數時的精度。
% F.S.: 取決于滿量程值的精度指標,與實際讀數值無關。用該數值乘以設備校準的滿量程值就能得到特定設備的精度。注意:雙向流設備可能具有不同的滿量程值,詳細信息請參閱各個規格表。
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