便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。
便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補(bǔ)償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作。
便攜式高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
（1）流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。
（2）測量控制的自動化
可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接，進(jìn)行自動控制。
（3）精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
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