微量氣體質(zhì)量流量計(jì)

微量氣體質(zhì)量流量計(jì)是采用世界的微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）。

　　微量氣體質(zhì)量流量計(jì)流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍zui大到5slpm;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。

　　微量氣體質(zhì)量流量計(jì)的產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì);

　　支持多種連接方式，易于安裝與使用;

　　傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量;

　　在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高;

　　輸出方式靈活，既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓;

　　零點(diǎn)穩(wěn)定度高;

　　全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性;

　　低功耗、低壓損;

　　微量氣體質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)速度快;