壓力傳感器發(fā)展趨勢

         工業(yè)設(shè)備在制造過程及整機機能體驗中離不開各類機器量和幾何量，有些工業(yè)設(shè)備在運行中還要常常對多種物量進行檢測或監(jiān)督，包含位移、速度、加快度、力、力矩、功率、壓力、流量、溫度、硬度、密度、濕度、比重、黏度、長度、角度、外形、位置、外表粗拙度、外表波形等，這些均屬于物理量。實際出產(chǎn)、生活和科學(xué)嘗試中還會碰見化學(xué)量、生物量（包含醫(yī)學(xué)），而所有這一切，從消息工程的角度來看，都需求經(jīng)過傳感器，將其轉(zhuǎn)換成電消息（近代還可以轉(zhuǎn)換成光消息），爾后再進行消息的傳輸、處理、存儲、展示、節(jié)制，從消息的角度看，這些消息連同聲音和圖像消息都是消息的起源，所以傳感器和檢測儀表、測量儀表是消息科學(xué)技能的3部分（消息獲取、消息傳輸、消息處理）中的重要部分。那么本文主要介紹壓力傳感器發(fā)展。

　　壓力傳感器是一種把非電量改變成電消息的器件，而檢測儀表在模擬電子技能前提下，一般是包含傳感器、檢測點取樣設(shè)備及放大器（進行抗干擾處理及消息傳輸），誠然還有電源及現(xiàn)場展示部分（可選擇），電消息一般為持續(xù)量、離散量兩種，實際上還可分成模擬量、開關(guān)量、脈沖量等，模擬消息傳輸采用同一消息（4-20madc等）。數(shù)據(jù)化過程中，檢測儀表改變比較大，經(jīng)過幾個階段，近來多采用asic集成電路，并且把傳感器和微處理器及網(wǎng)絡(luò)接口封裝在一個器件中，完成消息獲取、處理、傳輸、存貯等功能。在主動化儀表中常常把檢測儀表稱為變送器，如問題變送器、壓力變送器等。

　　壓力傳感器發(fā)展新型半導(dǎo)體材料碳化硅（sic）的出現(xiàn)使得單晶體的高溫傳感器的制作成為可能。rober.s. okojie報導(dǎo)了一種運行試驗達500℃的α（6h） sic壓力傳感器.實驗結(jié)果表明,在輸入電壓為5v ,被測壓力為6.9mpa的條件下,23500℃時的滿量程輸出為44. 66～20. 03mv ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17%。在500℃條件下運行10h ,性能基本不變,在100℃和500℃兩點的應(yīng)變溫度系數(shù)（tcgf） ,分別為20. 19 %/℃和- 0. 11 %/℃。這種傳感器的主要優(yōu)點是pn結(jié)泄漏電流很小,沒有熱匹配問題以及升溫不產(chǎn)生塑性變型,可以批量加工。ziermann ,rene報導(dǎo)了使用單晶體n型β- sic材料制成的壓力傳感器,這種壓力傳感器工作溫度可達573k,耐輻射。在室溫下,此壓力傳感器的靈敏度為20. 2muv/ vkpa。