當前位置:深圳市天鉉真空技術有限公司>>Alicat質量流量控制器>> ALICAT 質量流量控制器-雙向型 22系列
應用及案例
● 大學/研究所
● 環境監測
● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯
● 半導體
● 汽車制造
● 光伏
● 燃料電池
● 計量
● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品,雙向流量控制
● 多參數顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式:數字、模擬和本地面板
● 可選高精度:可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 響應時間快 僅需100ms(可調)
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
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